華中科技大學“微納制造與納米測量技術”創新團隊通過驗收

 　　5月30日上午，依托華中科技大學數字制造裝備與技術國家重點實驗室的“微納制造與納米測量技術”教育部創新團隊結題驗收工作會議召開。結題驗收專家組組長由西安交通大學蔣莊德院士擔任，成員有大連理工大學賈振元教授、中南大學朱文輝教授、清華大學路新春教授、武漢理工大學華林教授。華中科技大學科發院副院長高亮教授，機械學院黨委書記、創新團隊負責人史鐵林教授及團隊成員等20余人參加了會議。蔣莊德受教育部委托主持驗收報告流程。

　　高亮簡要介紹了會議議程、與會來賓以及“微納制造與納米測量技術”教育部創新團隊的基本情況。史鐵林從創新團隊發展與平臺建設、創新能力與社會貢獻、科教結合與人才培養、團隊文化與管理運行等方面向專家組作了詳細匯報。專家組現場考察了該創新團隊核心成員的相關實驗室，參觀了機械工程學院大型儀器共享平臺，對該創新團隊在前沿技術的基礎研究、儀器開發與應用、學科發展與人才培養等方面的工作與成果進行細致核查與質詢。

　　專家組通過集中評議，形成了驗收綜合意見，對創新團隊在資助期間取得的優異成績給予了充分肯定和高度贊賞。專家組認為，“微納制造與納米測量技術”教育部創新團隊以學科發展前沿和國家重大需求為導向，以基礎科學問題和大型科研項目為紐帶，開展了原子層沉積技術與應用、跨尺度微納復合結構制備技術與應用、表面測量技術/儀器與應用、納米結構測量理論/技術/儀器與應用等研究，取得了具有創新性的累累碩果，為我國在微納加工、納米測量等領域提供了理論與技術支撐，填補了國內多項技術空白和打破國外相關技術壟斷。

　　專家組一致同意通過結題驗收，認為總體優秀，同時建議教育部給予滾動支持，建議學校加大投入繼續支持。高亮、史鐵林表示，將按照專家組的建議和意見不斷改進和完善，為將該創新團隊打造成一支具有國際知名度的創新群體而不懈努力。

　　據悉，該團隊在建設期間，取得了一系列科研成果。團隊面向微納制造與納米測量技術領域，在原子層沉積、跨尺度微納復合結構制備、表面測量、納米結構測量等方面取得了突破性進展。他們提出了選擇性原子層沉積方法，并開發了兩類高效薄膜生長裝備;提出了多種規模化、跨尺度、低成本微納結構制造工藝;開發了“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀”等系列測量儀器，并成功實現了產業化，為國內外20余家研究機構提供了設備和測試服務。團隊人才培養和引進成效顯著，現有國家杰青1名、國家優青1名、科技部中青年科技創新領軍人才2名、青年千人4名，獲人才和團隊獎6項。團隊先后培養博士后、博士、碩士108名，承擔研究生課程9門、本科生課程18門;承擔國家重大基礎研究項目、國家重大儀器專項、國家自然科學基金等科研項目30余項，經費約1.1億元。團隊同時還發表SCI論文167篇，出版專著5部;授權發明專利69項，其中美國專利3項，獲國際發明獎3項;舉辦學術論壇11次，受邀做特邀報告25次。